Kesici Aletler Sert Vakum Kaplama Makinası

Manyetik alanların etkisi

Manyetik alanın eşitsizliği, filmin tekdüzeliğini daha da kötüleştirecektir. Magnetron püskürtmenin temel ilkesi, elektronların yörüngesini manyetik alan boyunca genişletmek ve mümkün olduğunca argon atomlarıyla çarpışmaktır. Manyetik alanın güçlü olduğu yerde, daha fazla Ar + iyonu üretilir ve bombardıman Hedef materyalin daha fazla atomu vardır ve substrat üzerindeki film tabakası daha kalındır. Aksine, manyetik alanın zayıf olduğu yerde film tabakası daha incedir. Açıktır ki, manyetik alanın gücü aynı zamanda birikme hızını da etkileyecektir, manyetik alan güçlü olduğunda birikme hızı yüksektir ve bunun tersi de birikme hızı düşüktür.

Yüzey sıcaklığının ve temizliğinin etkisi

Uygun alt tabaka sıcaklığı, farklı hedeflere göre belirli sıcaklığın araştırılmasını gerektiren filmin yapışma ve biriktirme hızını iyileştirebilir. Alt tabakanın temizliği, alt tabaka ile film arasındaki yapışma üzerinde büyük bir etkiye sahiptir, bu nedenle alt tabakayı ve vakum odasını iyi bir şekilde temizlemek çok önemlidir.

Başvuru

Parametre

Şirketimiz

Popüler Etiketler: kesici aletler sert vakumlu kaplama makinesi, Çin, tedarikçiler, üreticiler, fabrika, özelleştirilmiş, satın al, fiyat, teklif