Spin Kaplama Makinası

Ara frekans püskürtme de bir çeşit magnetron püskürtmedir.

Kullanılan güç kaynağına göre DC magnetron püskürtme, radyo frekansı magnetron püskürtme ve ara frekans magnetron püskürtme olarak ayrılabilen birçok magnetron püskürtme türü vardır. DC magnetron püskürtmede kullanılan güç kaynağı, hızlı püskürtme oranı, düşük maliyet ve sonraki dönemde ucuz bakım ile karakterize edilen, genellikle 300-1000 V olan bir DC yüksek voltajlı güç kaynağıdır. Ancak, yalnızca metal hedefler püskürtülebilir. Hedef bir yalıtkan ise, püskürtme ilerledikçe hedef büyük miktarda yük biriktirecek ve bu da püskürtmenin devam edememesine neden olacaktır. Bu nedenle, DC magnetron püskürtme genellikle metal hedefler için kullanılır. Düşük maliyeti ve basit yapısı nedeniyle endüstride yaygın olarak kullanılmaktadır. RF magnetron püskürtmede kullanılan RF güç kaynağının frekansı genellikle 13.56 MHz'dir; bu, DC magnetron püskürtmenin yalıtkan hedefleri sıçratamaması sorununu çözebilir. RF magnetron püskürtmenin özellikleri şunlardır: hem yalıtkan hedefler hem de metal hedefler püskürtülebilir ve film ile alt tabaka arasındaki yapışma güçlüdür. Bununla birlikte, karmaşık yapı ve cihaz, RF güç kaynağının yüksek fiyatı, yüksek bakım maliyeti, insan vücuduna radyasyon ve harici bir eşleştirme ağı ihtiyacı nedeniyle endüstriyel üretim için uygun değildir. Orta frekanslı magnetron püskürtme genellikle metal bileşik filmler hazırlamak için reaktif püskürtme için kullanılır. Argona ek olarak, bu reaktif gazların moleküllerini hedef malzemenin atomları ile biriktirmek için boşluğa azot, oksijen vb. Gibi az miktarda reaktif gaz eklenir. bir metal bileşik film oluşturmak için substrat üzerine. DC magnetron püskürtme endüstride yaygın olarak kullanıldığından, magnetron püskürtme masasında bir vakum sistemi, püskürtme kaplama sistemi, gaz ve kontrol sistemi bulunur.

Başvuru

Parametre

Şirketimiz

Popüler Etiketler: spin kaplama makinesi, Çin, tedarikçiler, üreticiler, fabrika, özelleştirilmiş, satın al, fiyat, teklif