Vakum Metalize Ekipmanları

PVD Kaplamalar Güvenli mi?

Fiziksel Buhar Biriktirme işlemleri, aynı sonucu elde etmek için kullanılan sıvı öncüleri ve kimyasal reaksiyonları içeren diğer "ıslak" işlemlere kıyasla kullanılması, yönetilmesi ve bertaraf edilmesi gereken toksik maddelerin miktarını büyük ölçüde azaltan çevre dostu veya "kaplama" tekniğidir. . Son derece saf, temiz ve dayanıklı kaplamalar üretebildiği için Fiziksel Buhar Biriktirme, cerrahi ve tıbbi implant endüstrisi için tercih edilen teknolojidir.

Kaplama makinesinin ne olduğunu biliyor musunuz? Esas olarak, vakumlu iyon buharlaştırma, magnetron püskürtme, MBE moleküler ışın epitaksi, PLD lazer püskürtme biriktirme ve diğerleri dahil olmak üzere birçok tip dahil olmak üzere yüksek derecede vakum altında gerçekleştirilmesi gereken bir kaplama türünü ifade eder.

Vakum sistemi, mekanik bir pompa, bir kriyojenik pompa, bir kaba işleme valfi, bir ön hat valfi, bir sürgülü valf ve bir vakum algılaması için bir vakum ölçer içerir. Magnetron püskürtme sırasında nitrojen, oksijen ve su buharının proses üzerindeki etkisi en aza indirilmelidir, bu nedenle vakum derecesinin 0.13 mPa ~ 4 Pa'nın altında olması gerekir. Genellikle kuru pompa ve kriyojenik pompa kullanılır. Kuru pompa, düşük vakumu pompalamak için kullanılır. Orijinal mekanik yağ pompası ile karşılaştırıldığında, yağ pompasındaki yağ ve gazın vakum odasına girmesini, alt tabakayı kirletmesini ve film ile alt tabaka arasındaki yapışmayı azaltmasını önleyebilir. Genellikle kuru pompa 6,5 ​​Pa'nın altına pompalandıktan sonra sürgülü vana açılır ve yüksek vakum pompalamak için kriyojenik pompa kullanılır. Kriyojenik pompa, yüksek pompalama hızı ile karakterize edilir, özellikle su buharını çıkarma yeteneği çok güçlüdür.

Püskürtme kaplama sistemi, DC güç kaynağı, hedef malzeme, soğutma suyu, kalıcı mıknatıs, alt tabaka ısıtma cihazı, bölme, koruyucu katman vb.'den oluşur. Bu, magnetron püskürtme istasyonunun temel parçasıdır. DC güç kaynağı, 300-1 000 V'luk bir negatif yüksek voltaj sağlar ve bunu hedefe uygular, böylece hedef katotta ve alt tabaka anotta olur. Soğutma suyu, püskürtme nedeniyle hedef sıcaklığın çok hızlı yükselmesini önlemek için hedef malzemeyi soğutmak için kullanılır. Soğutma suyu boru hattı metal borulardan değil, plastik borular gibi yalıtkan malzemelerden yapılmalıdır. Substrat ısıtma cihazı, film ile substrat arasındaki yapışmayı iyileştirebilen substrat üzerindeki su buharı gibi yabancı maddeleri çıkarabilir. Ek olarak, bazı metaller için uygun bir sıcaklık filmin kalitesini iyileştirebilir.

Başvuru

Parametre

Şirketimiz

Popüler Etiketler: vakumlu metalizasyon ekipmanları, Çin, tedarikçiler, üreticiler, fabrika, özelleştirilmiş, satın al, fiyat, teklif